[发明专利]粒子感测装置、以及具有粒子感测装置的电子设备

权利要求书

1.一种粒子感测装置，其特征在于，包括：

基板，具有凹槽，包括贯穿所述基板的底部的通孔；以及

至少一粒子感测元件，设置于所述基板内而不暴露于外界，

其中，所述粒子感测元件包括：

第一电极对，设置于所述基板的内部，所述第一电极对的两个第一子电极分别邻近所述凹槽的两侧设置，所述两个第一子电极之间具有第一间距；以及

第二电极对，设置于所述基板的内部，所述第二电极对的两个第二子电极分别邻近所述凹槽的两侧设置，所述两个第二子电极之间具有第二间距，其中，所述第一间距小于所述第二间距，所述第一电极对较所述第二电极对接近所述基板的所述底部，

其中，所述粒子感测装置被配置为藉由量测在所述两个第一子电极之间的一第一电容的改变来感测尺寸相应于所述第一间距的粒子，以及藉由量测在所述两个第二子电极之间的一第二电容的改变来感测尺寸相应于所述第二间距的粒子，

其中，所述通孔被配置以允许气体进入所述凹槽，使所述粒子远离所述通孔而自所述凹槽排出。

2.根据权利要求1所述的粒子感测装置，其特征在于，还包括：

第三电极对，设置于所述基板的内部，所述第三电极对的两个第三子电极分别邻近所述凹槽的两侧设置，所述两个第三子电极之间具有第三间距，其中，所述第二间距小于所述第三间距，所述第二电极对较所述第三电极对接近所述通孔。

3.根据权利要求2所述的粒子感测装置，其特征在于，还包括：

第四电极对，设置于所述基板的内部，所述第四电极对的两个第四子电极分别邻近所述凹槽的两侧设置，所述两个第四子电极之间具有第四间距，其中，所述第三间距小于所述第四间距，所述第三电极对较所述第四电极对接近所述通孔。

4.根据权利要求3所述的粒子感测装置，其特征在于，所述第一间距为2.5微米，所述第二间距为10微米，所述第三间距为50微米，所述第四间距为100微米。

5.根据权利要求1所述的粒子感测装置，其特征在于，还包括：

空气泵，设置于所述通孔的下方。

6.根据权利要求1所述的粒子感测装置，其特征在于，所述粒子感测元件为多个，多个所述粒子感测元件沿着所述基板的设定方向进行排列。

7.根据权利要求1所述的粒子感测装置，其特征在于，所述凹槽的剖面形状包括：V字型、U字型或阶梯型。

8.一种电子设备，其特征在于，包括：

装置本体；以及

粒子感测装置，电性结合于所述装置本体，所述粒子感测装置包括：

基板，具有凹槽，包括贯穿所述基板的底部的通孔；以及

至少一粒子感测元件，设置于所述基板内而不暴露于外界，其中，所述粒子感测元件包括：

第一电极对，设置于所述基板的内部，所述第一电极对的两个第一子电极分别邻近所述凹槽的两侧设置，所述两个第一子电极之间具有第一间距；以及

第二电极对，设置于所述基板的内部，所述第二电极对的两个第二子电极分别邻近所述凹槽的两侧设置，所述两个第二子电极之间具有第二间距，其中，所述第一间距小于所述第二间距，所述第一电极对较所述第二电极对接近所述基板的所述底部，

其中，所述粒子感测装置被配置为藉由量测在所述两个第一子电极之间的一第一电容的改变来感测尺寸相应于所述第一间距的粒子，以及藉由量测在所述两个第二子电极之间的一第二电容的改变来感测尺寸相应于所述第二间距的粒子，

其中，所述通孔被配置以允许气体进入所述凹槽，使所述粒子远离所述通孔而自所述凹槽排出。

9.根据权利要求8所述的电子设备，其特征在于，还包括：

第三电极对，设置于所述基板的内部，所述第三电极对的两个第三子电极分别邻近所述凹槽的两侧设置，所述两个第三子电极之间具有第三间距，其中，所述第二间距小于所述第三间距，所述第二电极对较所述第三电极对接近所述通孔。