[发明专利]元件、曝光装置、及制造方法有效
| 申请号： | 201610235948.4 | 申请日： | 2016-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN106098516B | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 山田章夫;菅谷慎二;黑川正树;泷泽昌弘;岩下龙马 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/147;H01J37/317 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 元件 曝光 装置 制造 方法 | ||
【说明书】：
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