[发明专利]一种基于碲锗铅高折射率材料的中波红外滤光片在审
申请号: | 201610236478.3 | 申请日: | 2016-04-15 |
公开(公告)号: | CN105759331A | 公开(公告)日: | 2016-07-13 |
发明(设计)人: | 谢平;李斌 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;G02B1/00 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 碲锗铅高 折射率 材料 中波 红外 滤光 | ||
技术领域
本发明涉及光学滤光片,具体是指一种基于碲锗铅高折射率材料的中波红外滤光片。
背景技术
红外滤光片是一种重要的分光器件,它的应用已经深入到航空航天遥感、激光、通讯、分析仪器等许多科技领域。
红外滤光片是由一系列的,具有高折射率nH和具有低折射率nL的膜层交替构成的,膜层所具有的折射率比值nH/nL越大,则构成光学薄膜所需要的膜层数就越少。
目前在中波红外波段使用的高折射率材料主要就是锗,其折射率为4.0,而已知可以使用的折射率最高的材料是碲化铅,其折射率高达5.6,但其透光范围从3.8um开始,无法应用在中波红外波段。
发明内容
为了克服上述现有技术的不足,本发明提供了一种中波红外滤光片,采用碲锗铅作为高折射率材料。
基于碲锗铅高折射率材料的中波红外滤光片的膜系结构如下:
基底|HLLHLHLLHL|空气
其中:H为λ/4厚的碲锗铅薄膜,L为λ/4厚的二氧化硅薄膜,λ为膜系的中心波长。
本发明的有益效果是使用碲锗铅作为高折射率材料,其折射率高达5.5,可以极大的提高折射率比值nH/nL,改善滤光片光谱性能,如下式所示,
滤光片的带宽是折射率比值nH/nL的函数,nH/nL越大,带宽越小;同时,nH/nL越大,可以减少所需膜层的数量,减小滤光片制备的难度。
附图说明
图1为中波红外滤光片结构示意图。
图2为本专利中波红外滤光片的透过率图。
具体实施方式
利用碲锗铅作为高折射率膜层材料,二氧化硅作为低折射率膜层材料制备中心波长为4um的中波红外窄带滤光片,其膜系设计为:
Sub|HLLHLHLLHL|Air
如图2所示,使用碲锗铅作为高折射率膜层材料的滤光片的带宽仅为160nm,而同样膜系用锗作为高折射率膜层材料的滤光片带宽为390nm。
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