[发明专利]一种复合传感器在审
| 申请号： | 201610237674.2 | 申请日： | 2016-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN105783998A | 公开（公告）日： | 2016-07-20 |
| 发明（设计）人： | 周志健;朱二辉;陈磊;杨力建;邝国华 | 申请（专利权）人： | 广东合微集成电路技术有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆;胡彬 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市松山*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种复合传感器，其特征在于，包括：至少一个加速度传感器；
所述加速度传感器的顶部包括有保护盖板；
所述加速度传感器中的部分结构复用为至少一个压力传感器的部分结构， 其中，部分或全部所述保护盖板复用为所述至少一个压力传感器的压力敏感膜；
所述至少一个压力传感器的剩余结构设置在所述保护盖板之上。
2.根据权利要求1所述的复合传感器，其特征在于，所述加速度传感器包 括密封腔；
所述密封腔位于所述保护盖板之下；
所述密封腔复用为所述压力传感器的压力腔。
3.根据权利要求2所述的复合传感器，其特征在于，所述密封腔为真空腔 或者所述密封腔中填充有惰性气体。
4.根据权利要求3所述的复合传感器，其特征在于，所述保护盖板的下表 面设置有吸气剂材料层。
5.根据权利要求1所述的复合传感器，其特征在于，所述保护盖板中设置 有至少一个压力腔；
所述压力腔的数量和所述压力传感器的数量相同。
6.根据权利要求5所述的复合传感器，其特征在于，所述压力腔为密封腔。
7.根据权利要求1所述的复合传感器，其特征在于，所述加速度传感器为 压阻式或者电容式。
8.根据权利要求1所述的复合传感器，其特征在于，所述压力传感器为压 阻式或者电容式。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东合微集成电路技术有限公司，未经广东合微集成电路技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610237674.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：大口径表阀一体式水表
- 下一篇：利用光纤探针法测量气液两相流的方法和装置
