[发明专利]测量和控制半导体气体传感器中的加热温度的布置和方法在审
| 申请号： | 201610239246.3 | 申请日： | 2016-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN106053546A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | M·格奥尔基;R·施赖伯 | 申请（专利权）人： | 微电子中心德累斯顿有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 吕俊刚 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测量 控制 半导体 气体 传感器 中的 加热 温度 布置 方法 | ||
【权利要求书】：
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