[发明专利]用于检测半导体芯片的插入器件有效
| 申请号： | 201610244582.7 | 申请日： | 2016-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN106054057B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 徐在焕;申宇烈 | 申请（专利权）人： | 爱思开海力士有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张晶;王莹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 检测 半导体 芯片 插入 器件 | ||
【权利要求书】：
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