[发明专利]一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构有效
申请号: | 201610247559.3 | 申请日: | 2016-04-20 |
公开(公告)号: | CN105696086B | 公开(公告)日: | 2018-03-30 |
发明(设计)人: | 姜剑;孙聂枫;孙同年;王书杰;史艳磊 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所13120 | 代理人: | 郝伟 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高压 单晶炉内 防止 热电偶 腐蚀 熔断 结构 | ||
1.一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构,包括加热器(1)、坩埚(2)、坩埚托(4)、上坩埚杆(5),嵌套坩埚(2)的坩埚托(4)置于加热器(1)热场中,上坩埚杆(5)设于坩埚托(4)的底部,其特征在于,上坩埚杆(5)为中空结构,上坩埚杆(5)的下端设有密封结构,上坩埚杆(5)的中空腔形成密封腔,热电偶(6)穿过密封结构使热电偶测量端(7)位于上坩埚杆(5)的密封腔内的顶部;还设有中空的下坩埚杆(9),下坩埚杆(9)的上端口与上坩埚杆(5)的下端口为可拆卸式紧固连接结构;
所述的可拆卸式紧固连接结构为,上坩埚杆(5)的下端设有内螺纹,下坩埚杆(9)的上端设有外螺纹,上坩埚杆(5)与下坩埚杆(9)螺纹紧固连接;
所述的密封结构为:上坩埚杆(5)下端部设有内螺纹段的孔径大于上坩埚杆(5)上部穿有热电偶(6)的中空腔的内径,使该内螺纹段的顶部形成上限位台肩,该上限位台肩的下面设有碳纤维毡垫圈(8),热电偶(6)从所述碳纤维毡垫圈(8)中穿过,下坩埚杆(9)与上坩埚杆(5)螺纹旋紧时,碳纤维毡垫圈(8)被压紧在上坩埚杆(5)与下坩埚杆(9)之间。
2.根据权利要求1所述的一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构,其特征在于,热电偶保护管为两路空腔陶瓷管。
3.根据权利要求1所述的一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构,其特征在于,热电偶测量端(7)为热电偶丝焊接后的合金触点。
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