[发明专利]制造衬底保持器的方法有效
| 申请号： | 201610252175.0 | 申请日： | 2012-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN105824199B | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | R·W·L·拉法瑞;N·坦凯特;N·V·德兹欧姆提那;Y·P·科瑞德;S·A·特兰普;J·J·雷森;E·C·罗登伯格;M·W·L·H·菲特斯;H·于斯曼 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01J5/20;G01J5/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴敬莲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 衬底 保持 方法 | ||
【权利要求书】：
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