[发明专利]一种基于RGA的工艺过程控制方法及工艺过程控制系统

权利要求书

1.一种基于RGA的工艺过程控制系统，其特征在于，所述系统至少包括机台Tool、残余气体分析仪RGA的传感器RGA SENSOR、RGA的控制器Sensor Controller、工厂主机FabHost；其中，所述RGA SENSOR安装在所述Tool的指定腔室内，所述Tool通过第一通信接口与所述Sensor Controller进行通信，用于将所述Tool的机台信息发送至所述SensorController中；所述Tool通过第二通信接口与所述Fab Host进行通信，所述SensorController通过第三通信接口与所述Fab Host进行通信。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述Fab Host，用于生成作业任务，并将所述作业任务通过所述第二通信接口发送至所述Tool中，其中，所述作业任务包括多个子任务对象；

所述Tool，还用于从所述作业任务中选取一个子任务对象，作为目标子任务对象，在判断所述目标子任务对象满足预设的启动规则时，生成触发事件，并将所述触发事件通过第一通信接口发送至所述Sensor Controller中，以及，在接收到所述Sensor Controller发送的控制命令时，执行所述控制命令，并生成处理结果，通过所述第二通信接口将所述处理结果发送至所述Fab Host中；

所述Sensor Controller，用于基于所述触发事件，控制所述RGA SENSOR获取所述指定腔室中的气体成分数据，以及，在确定所述气体成分数据具有匹配的预设告警等级时，依据所述匹配的预设告警等级生成对应的报警信息以及控制命令，并通过所述第三通信接口将所述报警信息及所述机台信息发送至所述Fab Host中，以及，通过所述第一通信接口将所述控制命令发送至所述Tool中；

所述RGA SENSOR，用于获取所述指定腔室中的气体的气体成分数据，并将所述气体成分数据发送至所述Sensor Controller。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述Tool还用于：

在当前选取的子任务对象处理完毕以后，若所述作业任务仍然存在待处理的子任务对象，则选取下一子任务对象作为目标子任务对象。

4.根据权利要求2或3所述的系统，其特征在于，所述Tool还用于：在判断所述目标子任务对象不满足预设的启动规则时，生成作业异常消息，并将所述作业异常消息发送至所述Fab Host中。

5.根据权利要求2或3所述的系统，其特征在于，所述目标子任务对象包括：目标wafer标识以及与所述目标wafer标识对应的传输路径标识，其中，所述传输路径标识对应的传输路径中包含多个腔室标识以及与腔室标识对应的工艺标识；

所述Tool包括：

路径确定模块，用于依据所述目标wafer标识对应的传输路径标识确定所述目标wafer标识对应的wafer传输路径；

工艺判断模块，用于基于所述目标wafer标识对应的wafer传输路径，判断所述目标wafer标识对应的wafer是否需要执行指定工艺流程；

腔室判断模块，用于在判定所述目标wafer标识对应的wafer需要执行指定工艺流程时，判断所述wafer是否能够进入执行所述指定工艺流程的指定腔室中；

事件通知模块，用于在判定所述wafer能够进入所述指定腔室时，若检测到所述wafer进入所述指定腔室，则生成触发事件，并将所述触发事件通过第一通信接口发送至所述Sensor Controller中。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述预设告警等级至少包括一级告警、二级告警以及三级告警，其中，所述一级告警的紧急程度大于所述二级告警，所述二级告警的紧急程度大于所述三级告警；所述一级告警对应一级报警信息以及一级控制命令、所述二级告警对应二级报警信息以及二级控制命令、所述三级告警对应三级报警信息以及三级控制命令。