[发明专利]调制掺杂型多周期应变补偿量子阱外延层及其生长方法有效
申请号: | 201610254589.7 | 申请日: | 2016-04-21 |
公开(公告)号: | CN105932543B | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
发明(设计)人: | 吴瑞华 | 申请(专利权)人: | 武汉华工正源光子技术有限公司 |
主分类号: | H01S5/343 | 分类号: | H01S5/343 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 程殿军;张瑾 |
地址: | 430000 湖北省武汉市湖高*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调制 掺杂 周期 应变 补偿 量子 外延 及其 生长 方法 | ||
【权利要求书】:
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