[发明专利]提高离子注入系统中磁扫描离子束一致性的方法有效
| 申请号： | 201610257320.4 | 申请日： | 2012-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN105869978B | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 爱德华·艾伊斯勒;伯·范德伯格 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/304;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 美国马萨诸*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 生产率 一致性 提高 离子 注入 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
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