[发明专利]靶材组件及其制备方法

权利要求书

1.一种靶材组件，包括基管和靶材本体，其特征在于：在所述 基管上喷涂有与所述靶材本体形成过渡的靶材复合层。

2.根据权利要求1所述的靶材组件，其特征在于：喷涂时采用 粒度为50-100μm的粉末材料。

3.根据权利要求1所述的靶材组件，其特征在于：所述喷涂方 法采用超音速喷涂法或等离子喷涂法。

4.根据权利要求1所述的靶材组件，其特征在于：所述基管为 不锈钢基管。

5.根据权利要求2所述的靶材组件，其特征在于：所述喷涂材 料为与所述靶材本体的材料相同的粉末。

6.一种根据权利要求1所述的靶材组件的制备方法，其特征在 于：包括以下步骤：

S1、去除基管表面杂质；

S2、在基管上喷涂形成靶材复合层；

S3、所述靶材本体与靶材复合层喷涂结合为一体。

7.根据权利要求6所述的靶材组件的制备方法，其特征在于： 在步骤S2中，采用超音速喷涂法喷涂形成靶材复合层。

8.根据权利要求6所述的靶材组件的制备方法，其特征在于： 在步骤S2中，喷涂时采用与所述靶材本体的材料相同的粉末粒子流 进行喷射，基管为不锈钢管，喷涂用粉末材料的纯度＞99.9％，粒度： 50-70μm，工作气体为惰性气体。

9.根据权利要求8所述的靶材组件的制备方法，其特征在于： 喷涂时工作气体的流量设为20-60m³/h，工作气压为5-10倍大气压， 工作气加热到200℃-600℃。

10.根据权利要求9所述的靶材组件的制备方法，其特征在于： 在步骤S2中，喷射的速度为400-600m/s，喷射行程设为2-5遍。