[发明专利]高密度电容器结构及方法有效
| 申请号： | 201610258597.9 | 申请日： | 2016-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN106067461B | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 李偉健;裴成文;王平川 | 申请（专利权）人： | 格罗方德半导体公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 英属开曼群*** | 国省代码： | 开曼群岛;KY |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高密度 电容器 结构 方法 | ||
【权利要求书】：
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