[发明专利]无铅铁电厚膜及制作方法

权利要求书

1.一种无铅铁电厚膜制作方法，其特征在于，包括：

采用甩胶工艺对基片上LaNiO₃胶体进行匀胶，形成LaNiO₃湿凝胶膜，所述甩胶工艺的参数包括：旋转速度为2800～3200转/分，旋转时间为30～40秒；

采用第一热处理工艺对所述LaNiO₃湿凝胶膜进行热处理，形成LaNiO₃底电极；

按聚乙烯吡咯烷酮：乙酸锰的摩尔比为1-x：x进行配比，其中0＜x≤0.2，将x摩尔乙酸锰分散到Na_0.5Bi_0.5Ti_1-xO₃胶体中，通过恒温磁力搅拌器搅拌，得到Na_0.5Bi_0.5Ti_1-xMn_xO₃稳定胶体；

采用旋涂工艺向所述LaNiO₃底电极涂覆含有聚乙烯吡咯烷酮的Na_0.5Bi_0.5Ti_1-xMn_xO₃稳定胶体，形成Na_0.5Bi_0.5Ti_1-xMn_xO₃湿凝胶膜，所述旋涂工艺的参数包括：旋转速度为2800～3500转/分，旋转时间为20～40秒；

采用第二热处理工艺对所述Na_0.5Bi_0.5Ti_1-xMn_xO₃湿凝胶膜进行热处理，形成无铅铁电厚膜，所述无铅铁电厚膜的化学通式为Na_0.5Bi_0.5Ti_1-xMn_xO₃的材料，其中0＜x≤0.2，所述的Na_0.5Bi_0.5Ti_1-xMn_xO₃为稳定胶体，所述稳定胶体中掺杂聚乙烯吡咯烷酮，所述无铅铁电厚膜的总厚度为1.2～10微米。

2.根据权利要求1所述无铅铁电厚膜制作方法，其特征在于，还包括：

通过恒温磁力搅拌器搅拌盛放于烧杯A中的乙酸钠、乙二醇甲醚；

通过恒温磁力搅拌器搅拌盛放于烧杯B中的硝酸铋、乙二醇甲醚；

在所述烧杯A的乙酸钠和乙二醇甲醚完全溶解后，向所述烧杯A中先加入乙酰丙酮和钛酸四正丁酯，搅拌均匀；

将所述烧杯B的溶液倒入所述烧杯A中，形成Na_0.5Bi_0.5Ti_1-xO₃胶体；

按顺序向所述Na_0.5Bi_0.5Ti_1-xO₃胶体中加入x摩尔乙酸锰、1-x摩尔聚乙烯吡咯烷酮，通过恒温磁力搅拌器搅拌，得到Na_0.5Bi_0.5Ti_1-xMn_xO₃稳定胶体；

所述Na_0.5Bi_0.5Ti_1-xMn_xO₃稳定胶体的浓度范围为0.3～0.6mol/L，乙酸钠：硝酸铋：乙酸锰：钛酸四正丁酯摩尔比为1.1：1.1：x：1-x，乙二醇甲醚：乙酰丙酮的摩尔比为9：2，聚乙烯吡咯烷酮：钛酸四正丁酯摩尔比为1：1。

3.根据权利要求1所述无铅铁电厚膜制作方法，其特征在于，还包括：

乙酸镍与硝酸镧按摩尔比1：1量取，去离子水与乙酸按质量比1:5加入烧杯中使溶液浓度达到0.3～0.6mol/L；

在100℃条件下，通过恒温磁力搅拌器将浓度0.3～0.6mol/L范围的溶液进行加热搅拌30～40min，再冷却至室温；

以摩尔比1:25的比例，向所述溶液中加入甲酰胺，得到稳定的胶体；

用四层中速定量滤纸进行过滤，得到LaNiO₃胶体。