[发明专利]一种基于飞秒激光辅助的半导体材料外延生长方法和装置在审
| 申请号： | 201610260299.3 | 申请日： | 2016-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN105821472A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 刘胜;严晗;甘志银;陈斌;彭庆;郑怀 | 申请（专利权）人： | 武汉大学;广东昭信半导体装备制造有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B25/16;C30B25/18;C30B25/08 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 程殿军;张瑾 |
| 地址： | 430072 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 辅助 半导体材料 外延 生长 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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