[发明专利]一种真空紫外光源装置

权利要求书

1.一种真空紫外光源装置，其特征在于：

包括等离子保持器、射频电场聚焦器和密封固定装置；

所述密封固定装置包括真空接口；

所述射频电场聚焦器为等离子局域场型电场聚焦器，包括射频源、天线、内导体和外导体；所述天线第一端与所述射频源电性连接，所述天线第二端与所述外导体电性连接；

所述等离子保持器包括光传导部和进气口；

所述等离子保持器至少一部分位于所述射频电场聚焦器的能量聚焦范围内。

2.如权利要求1所述的一种真空紫外光源装置，其特征在于：

所述内导体包括柱状的内电极面，所述外导体包括阶梯形柱状的外电极面，所述内电极面与所述外电极面电性连接；

所述外电极面包括上极面和下极面；所述外电极面与所述内电极面同轴；所述上极面与所述内电极面的径向距离L₁在1～15mm之间；所述下极面与所述内电极面的径向距离L₂大于L₁；所述上极面的截面长度H₁与下极面的截面长度H₂之和在10～150mm之间；所述天线设置于所述下极面与所述内电极面之间；所述射频源输入的射频频率在100MHz～10GHz之间。

3.如权利要求2所述的一种真空紫外光源装置，其特征在于：所述密封固定装置还包括固定部件；所述固定部件用于限定所述等离子保持器和所述内导体的相对位置；所述真空接口紧套在所述光传导部外壁上。

4.如权利要求3所述的一种真空紫外光源装置，其特征在于：所述光传导部包括窄通道，所述窄通道内径D₁为0.5～6mm；

所述等离子保持器位于所述能量聚焦范围内的部分，其厚度为0.2～4mm。

5.如权利要求4所述的一种真空紫外光源装置，其特征在于：所述固定部件为可容纳所述外导体、所述内导体、所述天线及所述等离子保持器的管状容器，所述固定部件的顶部固定所述光传导部。

6.如权利要求1～5任一项所述的一种真空紫外光源装置，其特征在于：所述等离子保持器还包括与所述光传导部连接的封闭部，所述封闭部位于所述射频电场聚焦器的能量聚焦范围内。

7.如权利要求6所述的一种真空紫外光源装置，其特征在于：所述封闭部呈椭球形，其短轴方向内径D₂为2～20mm，长轴方向内径D₃为5～30mm。

8.如权利要求7所述的一种真空紫外光源装置，其特征在于：所述进气口设置于所述光传导部一侧，进气口气压为10^-3～10mbar，进气口的气体流量为0.05～20sccm。

9.如权利要求1-5任一所述的一种真空紫外光源装置，其特征在于：所述等离子保持器贯穿所述内导体，所述进气口设置于所述等离子保持器的尾部。

10.如权利要求9所述的一种真空紫外光源装置，其特征在于：所述等离子保持器与所述内导体的间距为0.1～5mm，所述等离子保持器内径为0.5～6mm，厚度为0.2～4mm。