[发明专利]一种自准直仪有效
| 申请号： | 201610264603.1 | 申请日： | 2016-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN105783789B | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 叶海仙;熊召;陈海平;独伟峰;刘长春;曹庭分;易聪之;袁晓东;周海;吴乾坤 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 刘洪勋 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 闪耀光栅 准直透镜 自准直仪 分束镜 接收器 衍射光 高精度自准直仪 漂移 光源输出 实时基准 待测面 反射 光路 光源 激光 修正 | ||
【权利要求书】：
1.一种自准直仪，其特征在于，所述自准直仪包括光源、分束镜、准直透镜、闪耀光栅和接收器，所述光源输出的激光依次经过分束镜、准直透镜和闪耀光栅，所述闪耀光栅在光路中以利特罗角度放置，闪耀光栅产生的n级衍射光依次经过准直透镜、分束镜和接收器，其中n为非零整数，闪耀光栅产生的0级衍射光被待测面反射后，依次经过闪耀光栅、准直透镜、分束镜和接收器；
所述n级衍射光为±1级和±2级衍射光中的一种；所述闪耀光栅表面镀有铝膜。
2.根据权利要求1所述的自准直仪，其特征在于，所述接收器为电荷耦合元件、四象限光电探测器或位置敏感检测器。
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