[发明专利]一种氮化铝绝缘层阴极热丝的制备方法有效
申请号: | 201610266885.9 | 申请日: | 2016-04-26 |
公开(公告)号: | CN105931932B | 公开(公告)日: | 2017-11-17 |
发明(设计)人: | 郝俊杰;张晓冬;郭志猛;罗骥;陈存广;赵翔 | 申请(专利权)人: | 北京科技大学 |
主分类号: | H01J9/04 | 分类号: | H01J9/04;C25D15/00 |
代理公司: | 北京市广友专利事务所有限责任公司11237 | 代理人: | 张仲波 |
地址: | 100083*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氮化 绝缘 阴极 制备 方法 | ||
1.一种氮化铝绝缘层阴极热丝的制备方法,其特征在于,采用电泳沉积法,用纳米氮化铝粉末和氧化钇粉末为原料,均匀分散于有机溶剂中制备成稳定悬浮液,控制电压和电极间距,在绕制热丝上沉积一层厚度均匀陶瓷,通过排胶、烧结,制得带有致密氮化铝绝缘层的阴极热丝;具体步骤为:
1)选取平均粒径1~5μm的高纯氮化铝粉末和平均粒径0.03μm的氧化钇粉末作为原料;
2)把氮化铝粉末加到有机溶剂中,按氮化铝质量的0.1~3%加入氧化钇粉末,加入分散剂,超声分散后,制备出固含量为5~15%的稳定悬浮液;
3)将绕制好的钨铼丝放入20%的氢氧化钠溶液煮沸,超声清洗10分钟,将清洗好的钨铼丝固定在金属铂电极上,放入电解槽,电极间距20~50mm,通入50~100V的直流电压,沉积厚度为0.02~0.2mm,结束后取下电极和热丝;
4)将热丝在60~80℃的干燥箱干燥1~2小时,氢气气氛中500~600℃排胶处理1~2小时,放入钨丝炉中,氢气或氩气或氮气或氮氢混合气中1800℃下烧结1~2小时,获得具有致密氮化铝陶瓷涂层的阴极热丝。
2.如权利要求1所述的氮化铝绝缘层阴极热丝的制备方法,其特征在于,所述第2)步中的有机溶剂为乙醇、异丙醇、丙醇、丙酮、丙三醇甲醚、三氯乙烯-丁醇、乙醇-聚丙烯酸、醋酸丁酯-甲醚。
3.如权利要求1所述的氮化铝绝缘层阴极热丝的制备方法,其特征在于,所述热丝为铼 含量为3~25%的钨铼合金丝,其直径为0.15~1mm。
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