[发明专利]一种光谱检测元素分布的微区扫描装置及其微区扫描方法有效
| 申请号： | 201610272808.4 | 申请日： | 2016-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN105973871B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 王琦;陈慧茹;吴跃进;刘晶;刘斌美;林晏清;范爽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/71 | 分类号： | G01N21/71 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 丁瑞瑞 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光谱 检测 元素 分布 扫描 装置 及其 方法 | ||
【权利要求书】：
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