[发明专利]一种波面离焦校正装置

说明书

技术领域

本发明涉及的是自适应光学系统中波面校正领域，尤其是一种波面离焦校正装置。

背景技术

在光学系统中，光学像差是各种各样的，对于非稳腔薄片激光器来说，波面离焦现象是无法避免的。在激光器加载过程中，随着功率的提升，腔内离焦量将发生变化，导致输出激光的光束质量变差，难以提高能量集中度。为了校正腔内离焦，通常采用的方式是在光路中放置离焦反射镜或透镜，进行被动补偿校正，由于该离焦量的形状和大小是随激光器加载过程发生变化的，往往不能有效的解决腔内离焦，系统中始终存在离焦像差，这是现有技术所存在的不足之处。

发明内容

本发明的目的，就是针对现有技术所存在的不足，而提供一种波面离焦校正装置的技术方案，针对非稳腔高功率薄片激光器，使用中需开启冷却循环水，减小镜片上的热沉积引起的热畸变对面形的影响，避免引入不必要的额外像差。

本方案是通过如下技术措施来实现的：

一种波面离焦校正装置，包括有镜片、冷却腔、驱动器、水管、底座、进水口、出水口和支座；镜片粘结在冷却腔上；驱动器一端与镜片连接，另一端与底座固定连接；水管的一端与冷却腔连接，另一端与底座固定连接；底座固定在支座上；支座上设置有进水孔、出水孔和接插件接口；水管的进水口从支座的进水孔穿出；水管的出水支座的出水孔穿出。

作为本方案的优选：支座的方形通孔中设置有用于给驱动器提供驱动电压和控制信号的接插件。

作为本方案的优选：镜片的材料与冷却腔的材料性能相匹配；冷却腔的边缘上设置有加强筋。

作为本方案的优选：镜片圆心处设置有一个驱动器，圆周上根据波面离焦的形状设置多个驱动器，给不同驱动器加载不同的电流或电压，可以校正不同的离焦形状。

作为本方案的优选：冷却腔内充满冷却物质，冷却物质为水等流动性较大的液体或气体；冷却物质从进水口流入冷却腔，然后从出水口流出。

作为本方案的优选：接插件为驱动器与控制系统的驱动接口。

本方案的有益效果可根据对上述方案的叙述得知，由于在该方案中采用驱动器校正镜片的波面离焦形状，采用冷却腔对镜片均匀冷却，减小镜片上的热沉积引起的热畸变对面形的影响，避免带入不必要的额外像差。同时，镜片厚度、冷却腔筋板强度以及波面离焦的校正能力，能够根据需要进行优化设计，能够有效矫正腔内离焦，避免系统中出现离焦像差。

由此可见，本发明与现有技术相比，具有实质性特点和进步，其实施的有益效果也是显而易见的。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图2为图1的安装结构示意图。

图中，1为镜片，2为外罩，3为冷却腔，4为驱动器，5为水管，6为底座，7为出水孔，8为进水孔，9为接插件，10为支座。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

本说明书（包括任何附加权利要求、摘要和附图）中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。

如图所示，本方案包括有镜片、冷却腔、驱动器、水管、底座、进水口、出水口和支座；镜片粘结在冷却腔上；驱动器一端与镜片连接，另一端与底座固定连接；水管的一端与冷却腔连接，另一端与底座固定连接；底座固定在支座上；支座上设置有多个通孔；水管的进水口从支座的进水孔穿出；水管的出水口从支座的出水孔穿出。支座的通孔中设置有用于给驱动器提供驱动电压和控制信号的接插件。镜片的材料与冷却腔的材料性能相匹配；冷却腔的边缘上设置有加强筋。镜片圆心处设置有一个驱动器，圆周上根据波面离焦的形状设置多个驱动器，给不同驱动器加载不同的电流或电压，可以校正不同的离焦形状。冷却腔内充满冷却物质，冷却物质为水等流动性较大的液体或气体；冷却物质从进水口流入冷却腔，然后从出水口流出。接插件为驱动器与控制系统的驱动接口。

本方案在工作过程中，采用冷却物质从水管进水口流入冷却腔，通过冷却腔冷却镜片，将镜片上的热量带走，避免热沉积造成镜片形状畸变。由哈特曼波前测试系统测试激光器加载过程中的波面离焦变化情况，控制系统解算校正离焦时每一个驱动器上所需加载的电流或电压，其控制信号经放大器放大以后加载到相应的驱动器上，驱动器的伸缩带动镜面发生形变，从而实现波面离焦校正。

本发明并不局限于前述的具体实施方式。本发明扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合，以及披露的任一新的方法或过程的步骤或任何新的组合。