[发明专利]伯努利基座

权利要求书

1.一种伯努利基座，包括支撑柱以及位于所述支撑柱上的支撑平台，所述支撑平台用于支撑晶圆，其特征在于，所述支撑平台内设置有气体通道，所述支撑平台的上表面设置有若干个气孔，所述气孔与所述气体通道连通；所述支撑柱内设置有气体入口，用于向所述气体通道内通入气体。

2.如权利要求1所述的伯努利基座，其特征在于，所述若干个气孔中第一部分气孔与所述气体通道直接连通，第二部分气孔通过所述第一部分气孔与所述气体通道连通。

3.如权利要求2所述的伯努利基座，其特征在于，所述若干个气孔在所述支撑平台上构成多个类似图形，每个所述图形上的气孔相连通，每个所述图形上均有气孔与所述气体通道直接连通。

4.如权利要求3所述的伯努利基座，其特征在于，所述图形为圆环。

5.如权利要求4所述的伯努利基座，其特征在于，多个圆环为直径各异的同心圆环。

6.如权利要求5所述的伯努利基座，其特征在于，所述支撑平台内设置有一个气体通道，所述气体通道连通多个圆环上经过圆心的相互垂直的两个方向上的气孔。

7.如权利要求5所述的伯努利基座，其特征在于，所述若干个气孔在所述支撑平台上构成两个圆环，每个所述圆环内的气孔相连通，每个所述圆环内均有气孔与所述气体通道直接连通。

8.如权利要求7所述的伯努利基座，其特征在于，所述支撑平台内设置有两个气体通道，每一个气体通道连通一个圆环上经过圆心的某一方向上的气孔。

9.如权利要求8所述的伯努利基座，其特征在于，所述两个圆环上被所述气体通道连通的气孔所在方向相互垂直。

10.如权利要求1～9中任一项所述的伯努利基座，其特征在于，所述气孔所在的方向与所述支撑平台的上表面具有一角度。

11.如权利要求10所述的伯努利基座，其特征在于，还包括一腔室，包围所述支撑柱、支撑平台以及位于所述支撑平台上方的晶圆。

12.如权利要求11所述的伯努利基座，其特征在于，所述腔室包括位于一 侧的第一进气口以及位于另一侧的出气口，所述第一进气口用于通入反应气体。

13.如权利要求12所述的伯努利基座，其特征在于，所述腔室还包括第二进气口，与所述第一进气口位于同侧，且位置低于所述支撑平台。