[发明专利]一种高精密平面度自动检测设备在审
| 申请号： | 201610291456.7 | 申请日： | 2016-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN105841660A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 廖建业 | 申请（专利权）人： | 勤钦精密工业(昆山)有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 精密 平面 自动检测 设备 | ||
【权利要求书】：
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