[发明专利]硅基背板LED显示器的制造方法

权利要求书

1.一种硅基背板LED显示器的制造方法，其特征在于，包括步骤：

提供硅基背板，包含硅基背板上表面和与之相对的硅基背板下表面；

在硅基背板上形成基板光学对位标志；

提供第一掩膜板，包含第一掩膜板上表面和相对的第一掩膜板下表面；

在所述第一掩膜板上形成第一掩膜板光学对位标志，以及多个第一通孔组成第一通孔阵列；

将所述第一掩膜板平行置于所述硅基背板之上，形成所述第一掩膜板光学对位标志与所述基板光学对位标志的垂直光学对位；

基于所述第一掩膜板光学对位标志与所述基板光学对位标志的垂直光学对位，形成第一掩膜板与硅基背板的临时键合，其中所述第一掩膜板下表面和所述硅基背板上表面相对；

从第一掩膜板上表面上方通过所述第一通孔将第一LED发射层沉积于硅基背板上表面所暴露的多个第一子像素区域所构成的第一子像素区域阵列内；

解除第一掩膜板与硅基背板的临时键合，并移开第一掩膜板；

在硅基背板上表面形成透明的密封封盖。

2.根据权利要求1所述的硅基背板LED显示器的制造方法，其特征在于，在提供硅基背板步骤之后、形成所述第一掩膜板光学对位标志与所述基板光学对位标志的垂直光学对位步骤之前，包括步骤：

在所述硅基背板上表面的每个第一子像素区域内形成一个第一下电极，所述第一子像素区域阵列内的多个第一下电极构成一个第一下电极阵列。

3.根据权利要求2所述的硅基背板LED显示器的制造方法，其特征在于，在提供硅基背板的步骤之后、将第一掩膜板平行置于硅基背板之上的步骤之前，进一步包括：

在所述硅基背板上形成有源矩阵驱动电路，所述源矩阵驱动电路包含与每个第一下电极形成电学连接的第一像素子电路以及外围驱动电路；

形成有源矩阵驱动电路的输入输出管腿。

4.根据权利要求2所述的硅基背板LED显示器的制造方法，其特征在于，

在形成第一下电极阵列之后，在硅基背板上形成透明的密封封盖之前，包括 步骤：

在所述硅基背板上表面的每个第二子像素区域内形成一个第二下电极，所述第二子像素区域阵列内的多个第二下电极构成一个第二下电极阵列；

在解除第一掩膜板下表面与硅基背板上表面的临时键合并移开第一掩膜板步骤之后、在硅基背板上形成透明的密封封盖之前，包括步骤：

提供第二掩膜板，包含第二掩膜板上表面和相对的第二掩膜板下表面；

在第二掩膜板上形成第二掩膜板光学对位标志，以及多个第二通孔组成的第二通孔阵列；

将第二掩膜板平行置于硅基背板之上，形成所述第二掩膜板光学对位标志与所述基板光学对位标志的垂直光学对位；

基于所述第二掩膜板光学对位标志与所述基板光学对位标志的垂直光学对位，形成第二掩膜板与硅基背板的临时键合，其中第二掩膜板下表面与硅基背板上表面相对；

从第二掩膜板上表面上方通过所述第二通孔将第二LED发射层沉积于硅基背板上表面所暴露的多个第二子像素区域所构成第二子像素区域阵列内；

解除第二掩膜板与硅基背板的临时键合，并移开第二掩膜板。

5.根据权利要求4所述的硅基背板LED显示器的制造方法，其特征在于，在提供硅基背板的步骤之后、将第一掩膜板平行置于硅基背板之上的步骤之前，进一步包括：

在所述硅基背板上形成有源矩阵驱动电路，所述源矩阵驱动电路包含分别与每个第一下电极和第二下电极形成电学连接的第一像素子电路和第二像素子电路以及外围驱动电路；

形成有源矩阵驱动电路的输入输出管腿。

6.根据权利要求4所述的硅基背板LED显示器的制造方法，其特征在于，在移开第二掩膜板步骤之后、形成透明的密封封盖步骤之前，进一步包括：

在硅基背板上表面上，形成与所述第一LED发射层和所述第二LED发射层物理接触的共享上电极薄膜。