[发明专利]一种小晶片LED封装用微细银合金键合线的制造方法有效
申请号: | 201610293480.4 | 申请日: | 2016-05-06 |
公开(公告)号: | CN105950895B | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
发明(设计)人: | 李科;曹军;汤争争;吕长春 | 申请(专利权)人: | 河南优克电子材料有限公司 |
主分类号: | C22C1/03 | 分类号: | C22C1/03;C22C5/06;C22F1/14;C22F1/02;H01L33/62 |
代理公司: | 郑州优盾知识产权代理有限公司41125 | 代理人: | 张绍琳 |
地址: | 454650 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶片 led 封装 微细 合金 键合线 制造 方法 | ||
1.一种小晶片LED封装用微细银合金键合线的制造方法, 其特征在于:包括如下步骤:
(1)银合金键合线坯料的冶炼与连铸:
a.制造Ag/Ni中间合金:将质量分数90%的Ag和质量分数10%的Ni分层放入真空炉的氮化硼坩埚中,并在坩埚上放置中间开孔的氮化硼坩埚盖,对真空炉的炉膛抽真空,真空度高于3.0×10-2Pa后,开始升温至1450-1850℃,其中低于800℃时升温速率为20-40℃/min,温度高于800℃时升温速率为30-50℃/min,熔化过程中真空度高于3.0×10-2Pa,然后静置10-20分钟,待Ag/Ni合金完全熔解且金属液变清澈后,通过氮化硼管向Ag/Ni合金液中充入Ar搅拌5-10分钟,然后将合金浇注到水冷模具中冷却,得到Ag/Ni中间合金;
b.制造Ag/Ce和Ag/La中间合金:将质量分数90%的Ag放入真空炉的石墨坩埚中,将质量分数10%的Ce或La放入真空炉的加料盒中,对真空炉的炉膛抽真空,真空度高于3.0×10-2Pa后,充入Ar至0.1-0.5MPa,然后重新抽真空至真空度高于3.0×10-2Pa后,开始升温,待温度升至400-600℃后,停止抽真空并向真空炉中充入Ar至0.1-0.5MPa;然后继续升温至1150-1250℃,待银完全熔解且银液变清澈后,移动加料盒将Ce或La加入到坩埚中,并晃动坩埚搅拌5-10分钟,然后将合金熔体随炉冷却,得到Ag/Ce或Ag/La合金中间合金;采用相同的方法制造Ag/Ce和Ag/La中间合金中的另一种;
c.在真空冶炼炉中将Ag/Ni中间合金、Ag/Ce中间合金、Ag/La中间合金、Ag按下述比例称量计算后,其中镍(Ni)为3-5wt%;铈(Ce)为0.5-1.0 wt%;镧(La)为0.5-1.0 wt%,银为余量,且其中铈(Ce)和镧(La)的质量分数相同,混合加入到真空冶炼炉中,抽真空至5.0×10-1Pa以上,开始升温,待温度升至600-800℃后,停止抽真空并向真空冶炼炉中充入Ar至0.1-0.5MPa;然后继续升温至1250-1450℃,待合金完全熔解后,向银合金液中充入Ar搅拌5-10分钟,将合金熔体冷却,得到银合金坯料;
d.将银合金坯料加入到真空熔炼电磁搅拌合金连铸机的坩埚中,坩埚为氮化硼坩埚,抽真空至5.0×10-1Pa以上,开始升温至1250-1450℃,待合金完全熔解,采用氮化硼搅拌棒搅拌10-15分钟,然后精炼静置15-20分钟后,充入高纯Ar至1.05-1.1MPa,开始采用间歇方式拉铸,形成直径为8-12mm的银合金杆;
(2)银合金线的拉制:
将上述直径为8-12mm 的银合金杆经过拉丝机拉制成直径为1.0-1.5mm 的银合金线,拉丝过程采用单向拉制;
(3)银合金线的中间热处理:
将直径1.0-1.5mm的银合金线在管式炉中进行中间热处理,热处理过程采用惰性气体或N2气体保护,热处理温度为550-750℃,热处理时间为2-5分钟;
(4)将经过中间热处理的银合金线经拉丝机拉制成直径0.06-0.08mm 的银合金线,然后将直径为0.06-0.08mm 的银合金线经过拉丝机连续拉拔成直径为0.03-0.05mm 细线, 再在微细拉丝机上通过多道拉拔,最终获得直径0.012-0.018mm 微细银合金键合线,拉丝过程中,线材变形率为5%-7%;所述连铸机的结晶器上安装有电磁搅拌机构;银金合金杆牵引采用间歇式牵引,牵引速度为30-300mm/分钟,牵引时间1-5秒,停歇时间1-5秒;所述银合金线拉制过程中,拉丝模具的入口角度为11°-14°。
2. 根据权利要求1 所述的小晶片LED封装用微细银合金键合线的制造方法,其特征在于:所述浇注Ag/Ni合金的水冷模具材料为纯铜。
3.采用权利要求1或2所述的小晶片LED封装用微细银合金键合线的制造方法制造的小晶片LED封装用微细银合金键合线,其特征在于:所述银合金键合线材料的各成分重量百分含量是:Ni 3-5wt%,Ce 0.5-1.0wt%,La 0.5-1.0wt%,Ag余量,且Ce和La质量分数相同。
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