[发明专利]浸泡设备

权利要求书

1.一种浸泡设备；其特征在于：

该浸泡设备包含一储液筒，及一承载装置，该储液筒形成有一浸泡槽，及一连通于该浸泡槽顶端的上开口，该浸泡槽用以供一药液容置，该承载装置包括一可浸泡于该浸泡槽内的承载匣，及一设置于该储液筒与该承载匣间的驱动机构，该承载匣形成有多个相间隔排列的容置槽，各该容置槽用以供一晶圆容置，该驱动机构用以驱动该承载匣在一浸泡于该浸泡槽内的浸泡位置，及一经由该上开口移离出该浸泡槽外的进出料抬升位置间运动，当该承载匣在该进出料抬升位置时，所述容置槽沿一上下方向排列，且各该容置槽呈水平状。

2.根据权利要求1所述的浸泡设备，其特征在于：该驱动机构用以驱动该承载匣在该浸泡位置与该进出料抬升位置间转动，当该承载匣在该浸泡位置时，所述容置槽沿一垂直于该上下方向的前后方向排列，且各该容置槽呈竖直状。

3.根据权利要求2所述的浸泡设备，其特征在于：该驱动机构包含一可转动地枢接于该储液筒的转轴、一固定地连接于该转轴与该承载匣间的连接板，及一用以驱动该转轴旋转的驱动马达。

4.根据权利要求3所述的浸泡设备，其特征在于：该储液筒包括两个左右相间隔的侧壁，及一连接于该两侧壁前端的前壁，该转轴枢接于该两侧壁并邻近该前壁及该上开口，该承载匣包含一前板，该连接板固定地连接于该前板。

5.根据权利要求1、2、3或4所述的浸泡设备，其特征在于：还包含一机台，及一门装置，该机台形成一用以供该储液筒及该承载装置容置的腔室，该门装置设置于该机台用以封闭该腔室，该门装置包括一移动板，及一门板，该移动板形成有一通道孔，该移动板可沿该上下方向移动以使该通道孔与位在该进出料抬升位置的该承载匣的一选择的该容置槽位置对齐，该门板可相对于该移动板在一封闭该通道孔的关闭位置，及一未封闭该通道孔的开启位置间移动。

6.根据权利要求5所述的浸泡设备，其特征在于：该门装置还包括一用以驱动该移动板沿该上下方向移动的致动机构，及一设置于该移动板与该门板间的驱动元件，该驱动元件用以驱动该门板沿该上下方向在该关闭位置及该开启位置间移动。

7.根据权利要求6所述的浸泡设备，其特征在于：该通道孔呈长形且其长度延伸方向平行于一左右方向，该左右方向垂直该上下方向，该门板包含一用以封闭该通道孔的封闭板体，及一凸伸板体，该封闭板体呈长形且其长度延伸方向平行于该左右方向，该凸伸板体凸伸于该封闭板体的一长边，该驱动元件为一固定地设置于该移动板并且连接于该凸伸板体的气缸。

8.根据权利要求6所述的浸泡设备，其特征在于：该移动板呈长形且其长度延伸方向平行于该上下方向，该通道孔形成于该移动板中间处。

9.根据权利要求8所述的浸泡设备，其特征在于：该移动板包含一连接块，该连接块形成有一螺孔，该致动机构包含一螺接于该螺孔的导螺杆，及一用以带动该导螺杆转动的致动马达，该导螺杆沿该上下方向延伸。

10.根据权利要求9所述的浸泡设备，其特征在于：该门装置还包括一固定地接合于该机台的固定板，该导螺杆可转动地枢接于该固定板，该致动马达设置于该固定板上，该固定板形成有一连通于该腔室与该通道孔间的开孔，该移动板可相对于该固定板移动并且封闭该开孔。