[发明专利]体声波共振器的共振结构

权利要求书

1.一种体声波共振器的共振结构，其特征在于，包括：

一底电极；

一压电层，形成于所述底电极之上；以及

一顶电极，形成于所述压电层之上；

其中所述底电极、所述压电层以及所述顶电极三个相重叠的区域形成一共振区域，所述共振区域具有一轮廓，所述轮廓由包含至少三个弧形边所连接而成，其中每一弧形边凹向所述轮廓之一几何中心。

2.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包括选自以下群组的至少一个：一椭圆弧、一圆弧、一拋物线弧、一双曲线弧以及一摆线弧。

3.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含偶数个弧形边，每一弧形边的两端点可连接而形成具有一弦长的一弦线段，每一弧形边与其相对应的弦线段间具有一最长距离。

4.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含奇数个弧形边，每一弧形边的两端点可连接而形成具有一弦长的一弦线段，每一弧形边与其相对应的弦线段间具有一最长距离。

5.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含至少一圆弧，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，每一圆弧的一圆心位于其相对应的弦线段的一中垂在线。

6.根据权利要求5所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一圆弧为一劣弧或一半圆弧。

7.根据权利要求5所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一圆弧具有相同的弧长。

8.根据权利要求5所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边为一圆弧。

9.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，一凸多边形由连接所有弦线段所形成。

10.根据权利要求9所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含三个弧形边，所述凸多边形为一三角形，所述凸多边形的每一内角的角度大于或等于45度且小于或等于90度。

11.根据权利要求9所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含四个弧形边，所述凸多边形为一凸四边形，所述凸多边形的每一内角的角度大于或等于60度且小于或等于135度。

12.根据权利要求9所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述至少三个弧形边包含五个弧形边，所述凸多边形为一凸五边形，所述凸多边形的每一内角的角度大于或等于65度且小于或等于170度。

13.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，至少一弧形边对称于其相对应的弦线段的一中垂线。

14.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边的两端点 可连接而形成一弦线段，每一弧形边对称于其相对应的弦线段的一中垂线。

15.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边的两端点可连接而形成一弦线段，每一弧形边的范围介于分别通过其两端点且垂直于其相对应的弦线段的两垂直线之间。

16.根据权利要求1所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，每一弧形边具有相同的弧长。

17.一种体声波共振器的共振结构，其特征在于，包括：

一底电极；

一压电层，形成于所述底电极之上；以及

一顶电极，形成于所述压电层之上；

其中所述底电极、所述压电层以及所述顶电极三个相重叠的区域形成一共振区域，所述共振区域具有一轮廓，所述轮廓由包含至少三个弧形边以及至少一连接弧所连接而成，其中每一弧形边凹向所述轮廓的一几何中心，每一连接弧凸向所述几何中心，其中弧形边的边数大于或等于连接弧的数目，每一连接弧与两个弧形边相连接。

18.根据权利要求17所述的体声波共振器的共振结构，其特征在于，所述轮廓由所述至少三个弧形边以及所述至少一连接弧连接成平滑曲线而不存在奇异点。