[发明专利]一种差分硅通孔分布参数的全波提取方法在审
申请号: | 201610298191.3 | 申请日: | 2016-05-06 |
公开(公告)号: | CN106021646A | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 卢启军;朱樟明;丁瑞雪;李跃进;杨银堂 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | G06F17/50 | 分类号: | G06F17/50 |
代理公司: | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人: | 郭官厚 |
地址: | 710071*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 种差 分硅通孔 分布 参数 提取 方法 | ||
【权利要求书】:
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