[发明专利]一种二甲基二氯硅烷的提纯工艺及系统有效
申请号: | 201610301102.6 | 申请日: | 2016-05-06 |
公开(公告)号: | CN105906659B | 公开(公告)日: | 2019-03-08 |
发明(设计)人: | 曹华俊;方红承;谭军;彭金鑫;聂长虹;贾勇;赵晓辉;欧阳玉霞 | 申请(专利权)人: | 合盛硅业股份有限公司 |
主分类号: | C07F7/12 | 分类号: | C07F7/12;C07F7/20 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 胡红娟 |
地址: | 314201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 甲基 硅烷 提纯 工艺 系统 | ||
【说明书】:
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