[发明专利]用于在等离子体处理系统中控制等离子体的方法和装置有效
| 申请号： | 201610301437.8 | 申请日： | 2013-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN105914123B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 31263 上海胜康律师事务所 | 代理人： | 李献忠;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 处理 系统 控制 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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