[发明专利]一种失效分析中分析晶格缺陷的TEM样品制备新方法在审
| 申请号： | 201610316827.2 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN106018018A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 王炯翀;王亮;何永强;刘焱;苏耿贤;陈越 | 申请（专利权）人： | 苏州博飞克分析技术服务有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司11246 | 代理人： | 连平 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 失效 分析 晶格 缺陷 tem 样品 制备 新方法 | ||
【说明书】：
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