[发明专利]分瞳式移相干涉共焦微位移测量装置有效
| 申请号： | 201610317208.5 | 申请日： | 2016-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN105865339B | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 黄向东;谭久彬;向小燕 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 移相干涉 共焦 微位移测量装置 位相滤波器 象限 超精密测量 抗干扰能力 微位移测量 光栅 干涉光路 共焦系统 探测光路 同一光路 系统结构 线偏振光 针孔阵列 集成度 相位差 二维 分出 分光 路移 偏振 探测 测量 采集 干涉 | ||
【权利要求书】：
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