[发明专利]分瞳移焦型共焦显微差分测量方法及装置有效
申请号: | 201610317209.X | 申请日: | 2016-05-12 |
公开(公告)号: | CN105865347B | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 黄向东;谭久彬;向小燕 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B11/24 |
代理公司: | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人: | 高媛 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分瞳移焦型共焦 显微 测量方法 装置 | ||
【权利要求书】:
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