[发明专利]用于增大电化学沉积速率的方法在审
| 申请号： | 201610320306.4 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN106149020A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 艾里克·J·伯格曼;查尔斯·沙尔博诺;山姆·K·李 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C25D5/08 | 分类号： | C25D5/08;C25D7/12;C25D21/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 增大 电化学 沉积 速率 方法 | ||
【说明书】：
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