[发明专利]一种电解去溢料溶液及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201610321319.3 申请日: 2016-05-16
公开(公告)号: CN106011993B 公开(公告)日: 2018-01-05
发明(设计)人: 胡青华 申请(专利权)人: 昆山艾森半导体材料有限公司
主分类号: C25F1/00 分类号: C25F1/00;B29C37/02;H01L21/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 电解 去溢料 溶液 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种电解去溢料溶液,其特征在于:包括异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯、无机盐、有机盐、有机碱以及去离子水,其各组分质量百分比为:异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯0.2-1%、无机盐10-20%、有机盐1-5%、有机碱5-15%,其余为去离子水;所述无机盐为硫酸钾或硫酸钠;所述有机碱为单乙醇胺、二乙醇胺或α-吡咯烷酮中的一种;所述有机盐为柠檬酸钾或氨基磺酸钾。

2.关于权利要求1所述的电解去溢料溶液的制备方法,其特征在于包括以下步骤:

①按配比将异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯加入10倍质量的去离子水溶解,加热至40℃,搅拌30min混合均匀

②按配比将无机盐用足量去离子水溶解完全,再按配比加入有机盐溶解完全,混合均匀;

③将以上两溶液按1:1混合,然后按配比加入有机碱和余量水,搅拌1h,即可。

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