[发明专利]光罩清洗剂及清洗方法有效
| 申请号： | 201610324070.1 | 申请日： | 2016-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN105838507B | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;林伟;吕振群 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/72 | 分类号： | C11D1/72;C11D3/24;C11D3/20;C11D3/60;B08B1/00;B08B3/02;B08B3/08 |
| 代理公司： | 深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙) 44320 | 代理人： | 肖伟 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光罩清 洗剂 清洗 方法 | ||
【说明书】：
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