[发明专利]一种CO2气体检测用红外滤光片及其制备方法有效
申请号: | 201610325524.7 | 申请日: | 2016-05-17 |
公开(公告)号: | CN105842770B | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 乔冠军;侯海港;黄清伟;邵海成;刘桂武 | 申请(专利权)人: | 江苏大学 |
主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212013 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 沉积 红外滤光片 面薄膜 蒸镀 制备 低折射率材料 镀膜工艺条件 干涉截止膜系 高折射率材料 电子束蒸镀 基底材料 多孔钼 滤光片 透过率 信噪比 主膜系 电热 检测 单晶 基板 探测 | ||
【权利要求书】:
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