[发明专利]自动控制的微下拉晶体生长装置和自动控制方法在审
| 申请号： | 201610326024.5 | 申请日： | 2016-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN105839176A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 王亚琦;张连翰;杭寅;蔡双 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C30B15/08 | 分类号： | C30B15/08;C30B15/28;C30B29/62;C30B29/30 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯;张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 搜索关键词： | 自动控制 下拉 晶体生长 装置 方法 | ||
【说明书】：
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