[发明专利]一种基于纳米共轴腔结构和表面等离激元效应的相对湿度传感器件及其制作方法在审
| 申请号： | 201610328896.5 | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN106053393A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 倪海彬;刘清惓;常建华;王婷婷;倪波 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 戴朝荣 |
| 地址： | 210019 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 纳米 共轴腔 结构 表面 离激元 效应 相对湿度 传感 器件 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】：
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