[发明专利]一种处理高纯砷烷的钢瓶方法有效
| 申请号： | 201610330685.5 | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN105927851B | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 汤剑波;李东升 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技股份有限公司;合肥正帆电子材料有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/00 | 分类号： | F17C7/00;F17C13/02 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201108 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 处理 高纯 钢瓶 方法 | ||
1.一种处理高纯砷烷钢瓶的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：将多个待处理钢瓶(2)顶部的阀门出口通过钢瓶接头连接到主管路(9)上；
步骤2：将装有砷烷的源气钢瓶(1)和冷阱收集钢瓶(5)的阀门出口通过钢瓶接头连接到主管路(9)上；
步骤3：使用高纯氦气(A)对主管路(9)进行置换，确保管路不受污染，然后使用真空泵(4)对主管路(9)进行抽真空；
步骤4：在保持真空泵(4)运行的情况下，对待处理钢瓶(2)在60～100℃进行真空烘烤4～8小时，而后向待处理钢瓶(2)充入氦气至主管路(9)内压力为1～1.5bar，然后再通过真空泵(4)将氦气抽出，至主管路(9)内真空度为0；
步骤5：打开源气钢瓶(1)的钢瓶阀，源气钢瓶(1)出口端的砷烷气体的压力控制为1～3bar，向待处理钢瓶(2)内充入砷烷气体的压力控制为0.1-0.5bar，使待处理钢瓶(2)进行砷烷钝化烘烤12-24小时；
步骤6：打开冷阱收集钢瓶(5)的钢瓶阀，将待处理钢瓶(2)内烘烤后的砷烷气体收集到冷阱收集钢瓶(5)内，以便重复利用；
步骤7：向待处理钢瓶(2)充入氦气，氦气压力控制为1-1.5bar，然后再通过真空泵(4)将氦气抽出，至主管路(9)的真空度为0；
步骤8：关闭待处理钢瓶(2)的钢瓶阀，至此待处理钢瓶(2)处理完毕。
2.如权利要求1所述的处理高纯砷烷钢瓶的方法，其特征在于，所述冷阱收集钢瓶(5)始终浸泡在生冷液体内。
3.如权利要求2所述的处理高纯砷烷钢瓶的方法，其特征在于，所述生冷液体为液氮。
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