[发明专利]一种片状液相纳米颗粒制备方法

权利要求书

1.一种片状液相纳米颗粒制备方法，其特征是包括如下步骤：

步骤1)在平整衬底上沉积可溶解的牺牲层薄膜材料；

步骤2)再在牺牲层上沉积功能材料；

步骤3)在功能材料层上沉积并制备聚合物材料的纳米图案；

步骤4)以聚合物材料的纳米图案作为刻蚀掩模，利用刻蚀技术将纳米图案转移到下层的功能材料层上，再用刻蚀技术除去多余的聚合物材料；

步骤5)利用合适的液体将牺牲层溶解，同时得到液相的片状功能材料纳米颗粒，颗粒形状与纳米图案一致。

2.根据权利要求1所述的一种片状液相纳米颗粒制备方法，其特征在于：所述步骤1)的平整衬底为硅片，石英片，玻璃片，平整聚合物膜片。

3.根据权利要求1所述的一种片状液相纳米颗粒制备方法，其特征在于：所述的步骤1)的牺牲层薄膜材料为可溶解的聚合物，氧化物，金属材料，其沉积方式为旋转涂膜，热蒸发沉积，外延生长，化学气相沉积，物理气相沉积。

4.根据权利要求1所述的一种片状液相纳米颗粒制备方法，其特征在于：所述步骤2)的功能材料为金属，金属氧化物，石墨烯，二维薄膜材料，半导体材料，聚合物材料或复合材料；功能材料层是上述材料的一层或多层组合而成，其沉积方式为旋转涂膜，热蒸发沉积，外延生长，化学气相沉积或物理气相沉积；功能材料层的厚度为在0.1-50000纳米之间。

5.根据权利要求1所述的一种片状液相纳米颗粒制备方法，其特征在于：所述步骤3)的的聚合物纳米图案制备技术为纳米压印技术，光刻技术，相分离技术或自组装技术；聚合物材料为纳米压印胶，光刻胶，可相分离的嵌段聚合物或聚合物纳米微球。

6.根据权利要求1所述的一种片状液相纳米颗粒制备方法，其特征在于：所述步骤3)的聚合物纳米图案的线宽在5-50000纳米之间，图案形状可以是任意二维平面图案。

7.根据权利要求1所述的一种片状液相纳米颗粒制备方法，其特征在于：所述的步骤4)的刻蚀技术为等离子体刻蚀，离子束刻蚀，湿法刻蚀或电化学刻蚀。

8.根据权利要求1所述的一种片状液相纳米颗粒制备方法，其特征在于：所述的步骤5)的溶解液体为水，水溶液，有机液体，有机溶液；溶解方法为浸泡，震荡或超声。