[发明专利]一种紧凑型大功率空心阴极放电装置

权利要求书

1.一种紧凑型大功率空心阴极放电装置，其特征在于，包括密封管(1)、空心阴极管(2)、阴极板(3)、第一绝缘板(4)、辅助阳极板(5)、绝缘管(7)、永磁体(8)、环状阳极板(10)、第三水冷通道(11)和控制电源，其中：

所述空心阴极管(3)安装在阴极板(4)上并且可以前后调节移动；

所述密封管(1)与阴极板(3)连接，并将空心阴极管(2)套入其中，以实现对空心阴极管的密封，并为空心阴极管的移动预留余量；该密封管顶部还设有用于将气体输入至空心阴极管中的气体导入口；

所述辅助阳极板(5)用作等离子体的弧电极，所述第一绝缘板(4)用于实现阴极板和辅助阳极板的绝缘；

所述绝缘管(7)设置在第一绝缘板(4)上，用于防止等离子体起弧打火；

所述永磁体(8)和第三水冷通道(11)均设置在辅助阳极板(5)外部；

所述环状阳极板(10)用作等离子体的工作电极，其与辅助阳极板(7)底部间隔30～50厘米，并与空心阴极管之间形成高密度等离子体束流；

所述控制电源包括起弧电源(13)和恒定电流源(14)，其中，起弧电源(13)分别与阴极板(3)和辅助阳极板(5)连接；恒定电流源(14)正极通与环状阳极板(10)连接，负极与阴极板(3)连接。

2.根据权利要求1所述的一种紧凑型大功率空心阴极放电装置，其特征在于，所述阴极板(3)内还开设有用于通入冷却水以对空心阴极管进行冷却的第一水冷通道(6)。

3.根据权利要求2所述的一种紧凑型大功率空心阴极放电装置，其特征在于，所述辅助阳极板(5)内还开设有用于通入冷却水以防止空心阴极管发生烧蚀、并损坏阴极板的第二水冷通道(9)。

4.根据权利要求3所述的一种紧凑型大功率空心阴极放电装置，其特征在于，所述辅助阳极板(5)上还设有第二绝缘板(12)。

5.根据权利要求1～4任一项所述的一种紧凑型大功率空心阴极放电装置，其特征在于，所述空心阴极管(2)为钽管或钽合金管，其安装在阴极板(3)的中心轴线上，并通过螺钉锁紧。

6.根据权利要求1所述的一种紧凑型大功率空心阴极放电装置，其特征在于，所述绝缘管(7)为环状陶瓷管。

7.根据权利要求1所述的一种紧凑型大功率空心阴极放电装置，其特征在于，所述第一绝缘板(4)采用绝缘材料制成。

8.根据权利要求1所述的一种紧凑型大功率空心阴极放电装置，其特征在于，所述阴极板(3)、辅助阳极板(5)和环状阳极板(10)均由紫铜材料制成。