[发明专利]一种增量式小量程位移传感器的测量方法

权利要求书

1.一种增量式小量程位移传感器的测量方法，应用一种增量式小量程位移传感器，该增量式小量程位移传感器包括激光束(11)、两块反射镜、分布式光电探测器(5)和处理系统，所述分布式光电探测器(5)设有固定间距的探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)，所述探测部件三(53)设于所述探测部件一(51)和探测部件二(52)的直线连线之间的任意位置，两块所述反射镜平行设置并且能够相对移动，所述激光束(11)与分布式光电探测器(5)相对设置在两块所述反射镜两端，所述激光束(11)入射到其中一块所述反射镜上，经过两块所述反射镜交替反射后，出射到所述分布式光电探测器(5)，并被所述探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)感应，所述处理系统用于计算处理所述探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)接收到所述激光束(11)的次数和感光顺序，其特征在于，两块反射镜分别是固定反射镜(2)和移动反射镜(3)，其测量方法包括以下步骤：

a、将被测物体(7)通过一刚性件连接于所述移动反射镜(3)；

b、发射一束激光束(11)，所述激光束(11)以一定角度入射在所述固定反射镜(2)上，假设入射角为θ，所述激光束(11)经过所述固定反射镜(2)和移动反射镜(3)的连续反射后照射到所述分布式光电探测器(5)上；

c、移动所述被测物体(7)，带动所述移动反射镜(3)同时移动，位移量值为X，同时所述激光束(11)的反射路径变化，所述激光束(11)被所述分布式光电探测器(5)上的所述探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)感应，所述探测部件一(51)和探测部件三(53)的间距值为Y，所述探测部件三(53)和探测部件二(52)的间距值为Z，所述被测物体(7)停止移动时，所述处理系统计算处理所述探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)感应到所述激光束(11)的次数和感光顺序以及Y值或Z值，得出所述被测物体(7)的所述位移量值X的值以及位移方向。

2.根据权利要求1所述的一种增量式小量程位移传感器的测量方法，其特征在于，根据所述探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)的计数顺序进行所测位移方向的判断，如果计数顺序依次为所述探测部件一(51)、探测部件三(53)和探测部件二(52)，则所测位移方向为接近所述固定反射镜(2)的方向，如果计数顺序依次为所述探测部件二(52)、探测部件三(53)和探测部件一(51)，则所测位移方向为远离所述固定反射镜(2)的方向。

3.根据权利要求1所述的一种增量式小量程位移传感器的测量方法，其特征在于，所述步骤c中，所述探测部件一(51)和探测部件二(52)的直线连线之间设有至少一个探测部件四。

4.根据权利要求1所述的一种增量式小量程位移传感器的测量方法，其特征在于，还包括探测反射镜(4)，所述探测反射镜(4)设于所述分布式光电探测器(5)一侧，用于将所述固定反射镜(2)反射的所述激光束(11)反射到所述分布式光电探测器(5)上。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种增量式小量程位移传感器的测量方法，其特征在于，还包括用于发射所述激光束(11)的激光源(1)。

6.根据权利要求5所述的一种增量式小量程位移传感器的测量方法，其特征在于，还包括壳体，所述激光源(1)、固定反射镜(2)、移动反射镜(3)、探测反射镜(4)和分布式光电探测器(5)均位于所述壳体内，形成读数头(6)。

7.根据权利要求6所述的一种增量式小量程位移传感器的测量方法，其特征在于，所述移动反射镜(3)刚性连接至少一个连接件(31)，所述连接件(31)为刚性件，所述连接件(31)伸出所述读数头(6)外部。