[发明专利]一种交替增量式测量微位移传感器的测量方法

权利要求书

1.一种交替增量式测量微位移传感器的测量方法，应用一种交替增量式测量微位移传感器，该传感器包括激光束(11)、两块反射镜、光电探测器一(5)、光电探测器二(6)、导轨一(9)、导轨二(10)和控制处理系统，所述光电探测器一(5)设于所述导轨一(9)上并能在其上移动，所述光电探测器二(6)设于所述导轨二(10)上并能在其上移动，两块所述反射镜平行设置并且能够相对移动，所述光电探测器一(5)和光电探测器二(6)设置在两块所述反射镜的一端，相对的另一端设置所述激光束(11)，所述激光束(11)入射到其中一块所述反射镜上，经过两块所述反射镜交替反射后，出射到所述光电探测器一(5)或光电探测器二(6)并被感应，所述控制处理系统通信连接所述光电探测器一(5)和光电探测器二(6)，并用于统计所述光电探测器一(5)或光电探测器二(6)的感光里程及感光方向，所述光电探测器一(5)设有固定间距的探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)，所述探测部件三(53)设于所述探测部件一(51)和探测部件二(52)的直线连线之间的任意位置，所述光电探测器二(6)设有固定间距的探测部件四(61)、探测部件五(62)和探测部件六(63)，所述探测部件六(63)设于所述探测部件四(61)和探测部件五(62)的直线连线之间的任意位置，所述探测部件一(51)、探测部件二(52)、探测部件三(53)、探测部件四(61)、探测部件五(62)和探测部件六(63)感应所述激光束(11)，所述控制处理系统用于统计所述探测部件一(51)、探测部件二(52)、探测部件三(53)、探测部件四(61)、探测部件五(62)和探测部件六(63)感应所述激光束(11)的次数和感光顺序，其特征在于，两块反射镜分别是固定反射镜(2)和移动反射镜(3)，其测量方法包括以下步骤：

a、将被测物体(8)通过一刚性件连接于所述移动反射镜(3)；

b、发射一束激光束(11)，所述激光束(11)以一定角度入射在所述固定反射镜(2)上，假设入射角为θ，所述激光束(11)经过所述固定反射镜(2)和移动反射镜(3)的连续反射后照射到所述光电探测器一(5)或光电探测器二(6)上，控制处理系统控制所述光电探测器一(5)在所述导轨一(9)上移动，使所述激光束(11)被所述探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)中的一个感应，或者控制所述光电探测器二(6)在所述导轨二(10)上移动，使所述激光束(11)被所述探测部件四(61)、探测部件五(62)和探测部件六(63)中的一个感应，这个移动距离值为X；

c、移动所述被测物体(8)，带动所述移动反射镜(3)同时移动，同时所述激光束(11)的反射路径变化，所述激光束(11)被所述光电探测器一(5)上的所述探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)感应或者被所述光电探测器二(6)上的所述探测部件四(61)、探测部件五(62)和探测部件六(63)感应，所述被测物体(8)停止移动时，所述控制处理系统统计所述探测部件一(51)、探测部件二(52)、探测部件三(53)、探测部件四(61)、探测部件五(62)和探测部件六(63)感应到所述激光束(11)的次数和感光顺序以及各探测部件间的间距，得出所述被测物体(8)的探测位移值Y以及位移方向；

d、所述控制处理系统根据其所得出的所述被测物体(8)的探测位移Y的值加上或者减去移动距离X的值经过计算后得出所述被测物体(8)位移的真实改变值。

2.根据权利要求1所述的位移传感器的测量方法，其特征在于，根据所述探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)的计数顺序进行所测位移方向的判断，如果计数顺序依次为所述探测部件一(51)、探测部件三(53)和探测部件二(52)，则所测位移方向为接近所述固定反射镜(2)的方向，如果计数顺序依次为所述探测部件二(52)、探测部件三(53)和探测部件一(51)，则所测位移方向为远离所述固定反射镜(2)的方向。