[发明专利]一种偏心电容式角位移传感器结构及其使用方法有效
| 申请号： | 201610339806.2 | 申请日： | 2016-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN105953721B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 张嵘;周斌;侯波;宋明亮;林志辉 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B7/30 | 分类号： | G01B7/30 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 徐宁;孙楠 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电极 偏心 敏感结构 外侧设置 采集电极 激励电极 解调电路 敏感电极 耦合电极 电容式角位移传感器 转子 定子表面 内环 测量 电容变化信息 正弦激励信号 径向跳动 转角信息 转子表面 电容 减小 返回 | ||
【权利要求书】：
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