[发明专利]一种用于太赫兹无损检测的扫描台、扫描成像装置及方法有效
| 申请号： | 201610340121.X | 申请日： | 2016-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN105866031B | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 张延波;杨传法;孙中琳;常天英;刘陵玉;葛兆斌;张献生 | 申请（专利权）人： | 山东省科学院自动化研究所 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/88 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 赵妍 |
| 地址： | 250014 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 赫兹 无损 检测 扫描 成像 装置 方法 | ||
【说明书】：
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