[发明专利]氮化锌膜、触摸屏盖板及膜的制备方法、应用有效
| 申请号： | 201610341169.2 | 申请日： | 2016-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN106048526B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 陈君;李涛 | 申请（专利权）人： | 上海科比斯光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;G06F3/041 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦;余化鹏 |
| 地址： | 200233 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 触摸屏 氮化锌薄膜 盖板 制备 反应溅射 氮化锌 氮气 表面反射率 生产成本低 液晶显示器 耐磨性 氮化 表面硬度 镀膜功率 反应气体 工作气压 溅射气体 生产效率 表面能 盖板膜 抗刮伤 锌元素 遮光层 镀膜 段差 可用 良率 贴合 锌靶 应用 | ||
【权利要求书】：
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