[发明专利]光取向用偏振光照射装置

权利要求书

1.一种光取向用偏振光照射装置，其特征在于，具备：

照射单元，向所设定的照射区域照射偏振光；

台，载置基板；以及

台移动机构，通过使台向照射区域移动，使得向台上的基板照射偏振 光，

作为台，设置有第一台和第二台这两个台，

台移动机构使第一台从设定于照射区域的一侧的第一基板搭载位置向 照射区域移动，并且使第二台从设定于照射区域的另一侧的第二基板搭载 位置向照射区域移动，

台移动机构在第一台上的基板经过照射区域之后使第一台返回到第一 侧，并且在第二台上的基板经过照射区域之后使第二台返回到第二侧，

在位于第一基板搭载位置的第一台与照射区域之间确保第二台上的基 板经过照射区域的量以上的空间，在位于第二基板搭载位置的第二台与照 射区域之间确保第一台上的基板经过照射区域的量以上的空间，

接着第一台上的基板经过照射区域后开始了向第一基板搭载位置返回 的回路移动，使第二台开始移动，并且接着第二台上的基板经过照射区域 后开始了向第二基板搭载位置返回的回路移动，使第一台开始移动。

2.根据权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

在将从一方的台回收基板所需的时间设为T_L1，将基板向一方的台搭载 所需的时间设为T_L2，将所搭载的基板的校准所需的时间设为T_L3，将另一 方的台从基板搭载回收位置到前进到达位置的移动所需的时间设为T_E1的 情况下，T_L1+T_L2+T_L3≤T_E1。