[发明专利]太赫兹光路校准器、汇聚及平行光路校准装置

权利要求书

1.一种太赫兹光路校准器，其特征在于，包括：

太赫兹光路管，包括太赫兹光源放置端口及出光端口；

可见光光路管，与所述太赫兹光路管垂直放置，包括可见光光源放置端口及出光端口，所述可见光光路管出光端口与所述太赫兹光路管出光端口相邻，且所述可见光光路管出光端口的端面为倾斜面，所述倾斜面朝向所述太赫兹光路管出光端口；所述可见光光路管的轴向中心线与所述太赫兹光路管的轴向中心线相交，且二者的交点位于所述可见光光路管出光端口；

太赫兹分色片，位于所述可见光光路管出光端口表面，且完全覆盖所述可见光光路管出光端口；所述太赫兹分色片对太赫兹频段具有高反射率，对所述可见光频段具有高透过率；

耦合光导出光路模块，位于所述可见光光路管出光端口的一侧，包括光束导出端口，适于将耦合的所述太赫兹光及所述可见光转换成平行光束导出。

2.根据权利要求1所述的太赫兹光路校准器，其特征在于：所述太赫兹光路管及所述可见光光路管的材料均为低反射率材料。

3.根据权利要求1所述的太赫兹光路校准器，其特征在于：所述太赫兹分色片在60μm～3mm波长范围内的反射率高于85％，在200nm～1200nm波长范围内的透过率高于90％。

4.根据权利要求3所述的太赫兹光路校准器，其特征在于：所述太赫兹分色片为表面镀有铟锡氧化物薄膜的硼硅玻璃片；所述铟锡氧化物薄膜的厚度大于对应的太赫兹光波长的趋肤深度，直流电导率为10⁵/Ω·m量级。

5.根据权利要求1所述的太赫兹光路校准器，其特征在于：所述耦合光导出光路模块包括：

耦合光束收集光学元件，所述耦合光束收集光学元件位于耦合的所述太赫兹光与所述可见光的光路上，包括反射镜或透射镜，适于将耦合的所述太赫兹光及所述可见光转换成平行光束；

导出光路管，位于所述耦合光束收集光学元件的一侧，包括光束入射端口及所述光束导出端口，适于将所述平行光束导出；所述导出光路管的所述光束导出端口设有中心位置指示标志。

6.根据权利要求5所述的太赫兹光路校准器，其特征在于：所述耦合光束收集光学元件为90度离轴抛物面镜，所述耦合光束收集光学元件的焦点与所述可见光光路管的轴向中心线与所述太赫兹光路管的轴向中心线的交点相重合。

7.根据权利要求5所述的太赫兹光路校准器，其特征在于：所述太赫兹光路管出光端口及所述可见光光路管出光端口均设有第一遮挡装置，适于调节所述太赫兹光路管出光端口及所述可见光光路管出光端口的孔径；所述导出光路管的所述光束导出端口设有第二遮挡装置，适于调节所述光束导出端口的孔径。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的太赫兹光路校准器，其特征在于：所述太赫兹光路校准器还包括固定腔体；所述固定腔体将所述太赫兹光路管、所述可见光光路管、所述太赫兹分色片及所述耦合光导出光路模块密封固定，且所述太赫兹光路管的太赫兹光源放置端口、所述可见光光路管的可见光光源放置端口及所述耦合光导出光路模块的光束导出端口位于所述固定腔体的外侧。

9.一种汇聚光路校准装置，其特征在于，包括：

如权利要求1至8中任一项所述的太赫兹光路校准器；

第一反射光学元件，位于所述耦合光导出光路模块的光束导出端口一侧，且位于所述耦合光导出光路模块导出的平行光束的光路上，适于将所述耦合光导出光路模块导出的平行光束转换成汇聚光束。

10.根据权利要求9所述的汇聚光路校准装置，其特征在于：所述第一反射光学元件为90度离轴抛物面镜。

11.一种平行光路校准装置，其特征在于，包括：

如权利要求9至10中任一项所述的汇聚光路校准装置；

第二反射光学元件，位于所述第一反射光学元件一侧，且位于所述第一反射光学元件转换的汇聚光束的光路上，适于将所述第一反射光学元件转换的汇聚光束转换成平行光束。

12.根据权利要求11所述的平行光路校准装置，其特征在于：所述第二反射光学元件为90度离轴抛物面镜。