[发明专利]测量待测气体中磷化氢含量的方法在审
申请号: | 201610351302.2 | 申请日: | 2016-05-25 |
公开(公告)号: | CN106066322A | 公开(公告)日: | 2016-11-02 |
发明(设计)人: | 毛智慧;张云晖;亢若谷;金波;钱津旺;李晓华;韩小叶;郭秀红;卢华;曾娟 | 申请(专利权)人: | 昆明冶研新材料股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/71 | 分类号: | G01N21/71 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 李志东 |
地址: | 655011 云南省昆*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测量 气体 磷化氢 含量 方法 | ||
【权利要求书】:
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