[发明专利]大口径光栅超短行程纳米级精度解耦拼接的机械装置有效
| 申请号： | 201610352556.6 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN106067327B | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 白清顺;沈荣琦;何欣;赵航;张英杰;张庆春 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电陶瓷驱动器 拼接 大口径光栅 解耦 超短行程 多自由度 纳米级 平动 光栅 机械装置 大理石底座 弹性片簧 方向转动 精密调整 柔性支柱 运动平台 伸缩 转动 悬浮 | ||
【权利要求书】：
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